국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 초 고순도 반도체 감광액용 안전유리 용기 (ESH Bottle) 실증 평가 · 예산사업명: 소재부품산업기술개발기반구축(R&D) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2026-04-01 ~ 2027-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-04-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 경영 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 올도완 · 연구책임자: 심재희 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 150,000,000원 · 총 연구비: 223,881,000원 ■ 한글키워드 · 유해화학물질 누출방지, Fab 완전 무인화 인프라, 반도체 PR 용기 양산 실증, PR 클린용기 국산화, 공급망 안정화 ■ 영문키워드 · Chemical Leak Prevention, Fab Automation Infrastructure, Bottle of Semiconductor PR Validation, PR Clean Bottle Localization, Supply Chain Stabilization ■ 연구내용 1. 초고순도 감광액 충진 기반 경시 안정성 평가① ArF 감광액을 안전 유리용기에 충진 후 장기 안정성 평가 수행.② 월별 샘플링을 통해 금속이온 농도, 액상 이물(LPC), 화학적 특성(GPC, 점도 등) 분석.③ 최대 15개월 장기 경시 데이터 확보를 통해 감광액 저장 안정… ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410019554 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410019554 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.