국가R&D 과제 동향

극자외선 반사경용 LAS계 극저열팽창 결정화 유리 개발

관리자 · 2026-08-31 05:40 · 조회 6
국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 극자외선 반사경용 LAS계 극저열팽창 결정화 유리 개발 · 예산사업명: 소재부품기술개발 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-07-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 사회과학 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 하스 · 연구책임자: 임형봉 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 1,710,000,000원 · 총 연구비: 2,052,100,000원 ■ 한글키워드 · 극자외선, 열팽창, 균질도, 결정화 유리, 반사경 ■ 영문키워드 · Extreme Ultraviolet, Thermal Expansion, Homogeneity, Glass-Ceramics, Reflection Mirror ■ 연구내용 ㅇ IP R&D 및 기초 문헌 분석 - 기술특허 동향 조사 및 차별화 전략 수립 - 선진사 조성 및 소재 제조 레서피 정보 수집 - 물성평가 방법 및 장비 정보 수집ㅇ 극저열팽창 광학 결정화 유리 제조 공정 개발 및 고도화 - 기초조성 확보 및 고도화 - 양산용 원소재 선정 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410017244 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017244 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.

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