국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 차세대 패터닝용 금속화합물계 소재 증착을 위한 플라즈마 ALD 장비 개발 · 예산사업명: 차세대지능형반도체기술개발(설계제조)(R&D) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-04-01 ~ 2026-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 사회과학 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 아이작리서치 · 연구책임자: 김지혜 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 1,683,000,000원 · 총 연구비: 2,228,970,000원 ■ 한글키워드 · 원자층증착법, 하드마스크, 산화 티타늄, 고선택비, 고생산성 ■ 영문키워드 · ALD, hardmask, titanium oxide, High etch selectivity, High throughput ■ 연구내용 o 주관기관 : ㈜아이작리서치 (플라즈마 기반 ALD 반응 챔버 설계 및 개발) - 12 인치 웨이퍼 4매가 동시 장입 가능한 ALD 반응기 설계 - 고밀도, 고균일 플라즈마 밀도의 CCP 플라즈마 전극(샤워헤드) 개발 - 전구체 공급을 위한 가스라인 모듈 개발 - One cycle 시간… ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410016971 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410016971 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.