국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 식각·증착·세정활용 공정가스 사용 최적화를 위한 배출가스 모니터링 및 온실가스 배출량 모의분석 기술 개발 · 예산사업명: 탄소중립산업핵심기술개발사업 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2023-07-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 사회과학 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 한국화학융합시험연구원 · 연구책임자: 이봉재 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 1,684,000,000원 · 총 연구비: 1,875,400,000원 ■ 한글키워드 · 온실가스, 지구온난화지수, 대기수명, 유효복사강제력, 배출량 정량 모니터링 ■ 영문키워드 · Greenhouse gases, Global Warming Potential, Atmospheric lifetime, Effective Radiative Forcing, Quantitative monitoring of GHG emissions ■ 연구내용 o 단위/통합 공정별 사용가스에 대한 GWP 및 부생가스를 고려한 온실가스 배출 정량 모니터링 시스템 개발 - 반도체 공정에서 사용되고 있는 공정가스 측정을 위한 센서 선정 및 모니터링 시스템 구축 (식각, 증착, 세정 및 스크러버) - 공정가스 및 부생가스의 정량 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410016672 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410016672 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.