국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 반도체 식각공정용 내플라즈마 특성이 우수한 석영유리 신소재 제조기술 개발 · 예산사업명: 국가첨단전략산업특화단지연대협력지원사업(R&D) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-10-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 사회과학 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: (주)원익큐엔씨 · 연구책임자: 성기훈 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 412,000,000원 · 총 연구비: 652,344,000원 ■ 한글키워드 · 오염입자, 쿼츠글라스, 글라스 양산기술, 내플라즈마성, 플라즈마 공정진단 ■ 영문키워드 · Particle contamination, Quartz Glass, Glass mass production technology, Plasma Resistance, Precision diagnosis of plasma process ■ 연구내용 ■ 최적 PRG 조성 도출 및 특성 평가■ 표면개질 기술 최적화■ Multi-producing 소결 및 대량생산 공정개발■ 가공 tool 및 가공기술 개발 ■ 내플라즈마 정량 평가 시스템 개발■ 고에너지 고출력 환경 플라즈마 내구성 평가시스템 구축 및 내플라즈마 가속화 평가를 통한 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410015637 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410015637 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.