국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 반도체 제조·장비 분야 환경·보건·안전 표준 개발 · 예산사업명: 국가표준기술개발및보급 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2026-04-01 ~ 2030-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-04-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 두플 · 연구책임자: 김형수 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 90,000,000원 · 총 연구비: 147,000,000원 ■ 한글키워드 · 자율형 공장, PM 자동화, 반도체 국제 표준, 환경 안전 보건 표준, 반도체 제조·장비 ■ 영문키워드 · Autonomous Fab, PM Automation, SEMI Standard, EHS Standard, Semiconductor Manufacturing and Equipment ■ 연구내용 [1단계 개발내용]□ Pre-SNARF 작성 - (FAB) Autonomous Fab 구축을 위한 Parts/Consumable Data Structure 표준화 제안 - (EHS) S2 RI20 (인화성 물질), S2 11절(안전 인터록), Mobile Robot safety 관련 내용 추가를 위한 Pre-SNARF 작성□ 표준 Draft 문건 작성 및... ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410018614 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410018614 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.