국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 13.5 나노미터 극자외선 검사장비 광학계용 광학소재 부품 기술개발 · 예산사업명: 소재부품기술개발 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-07-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 하스 · 연구책임자: 임형봉 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 20,000,000원 · 총 연구비: 28,870,000원 ■ 한글키워드 · 극자외선, 결정화 유리, 반도체 노광, 검사장비, 극자외선 반사경 ■ 영문키워드 · Extreme Ultraviolet, Glass-Ceramics, Semi-conductor Lithography, Inspection Equipment, Extreme Ultraviolet Mirror ■ 연구내용 [1세부] ㅇ Φ300mm×T50mm 급 극저열팽창 광학 유리세라믹 소재 개발 - 열팽창계수/균질도 : 0.07x10-6/K / 0.05x10-6/K - 개재물 : Class 3급 (4 ea/100cm2) - 열전도도 : ?1.7 W/mㆍK - 시제품 : Φ300mm급 반사경 블랭크 소재[2세부] ㅇZerodur 소재를 이용한 광부품 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410017471 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017471 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.