국가R&D 과제 동향

2세대 기판에서 마이크로 LED용 디스플레이 제조를 위한 스퍼터 방식의 GaN 증착 장비와 공정 기술개발

관리자 · 2026-08-31 05:40 · 조회 7
국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 2세대 기판에서 마이크로 LED용 디스플레이 제조를 위한 스퍼터 방식의 GaN 증착 장비와 공정 기술개발 · 예산사업명: 무기발광디스플레이기술개발및생태계구축사업 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2026-04-01 ~ 2029-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-04-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 아바코 · 연구책임자: 박완우 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 1,200,000,000원 · 총 연구비: 1,519,600,000원 ■ 한글키워드 · 무기발광디스플레이, 마이크로 엘이디, 스퍼터, 질화갈륨, 청색 발광다이오드 ■ 영문키워드 · Inorganic Display, Micro-LED, Sputter, GaN, Blue LED ■ 연구내용 [1차년도 개발내용][주관연구개발기관_(주)아바코]ㅇ 2G 마이크로 LED GaN 증착용 Co-Sputter Concept 도출 및 설계안 검토ㅇ 2G Co-Sputter Lay-out 도출 및 H/W 설계 진행ㅇ GaN 증착을 위한 Adatom Migration Enhancement 사전 기술 검토[공동연구개발기관1_고려대… ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410017988 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017988 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.

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