국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 머신러닝과 20 ㎛ 스팟을 겸비한 300 mm 웨이퍼용 OCD 계측장비 개발 · 예산사업명: PIM인공지능반도체핵심기술개발(R&D)(제조) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2022-04-01 ~ 2027-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: (주)오로스테크놀로지 · 연구책임자: 김상준 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 700,000,000원 · 총 연구비: 1,008,400,000원 ■ 한글키워드 · 분광 타원계, 광학적 임계 선폭, 머신 러닝, 딥 러닝, 광 계측 ■ 영문키워드 · Spectroscopic Ellipsometry, Optical Critical Dimension, Machine Learning, Deep Learning, Optical Metrology ■ 연구내용 o 모듈 단위 안정성 평가 - 반도체 라인용 광계측기에서 요구하는 수준의 재현성을 확보하기 위해서는 온도의 경우 ± 0.02℃의 제어가 필요함. 모듈 단위에서는 대기 중에 누출된 상태로 진행하게 되기 때문에 Clean Room의 실내 온도 제어 범위 ± 0.5℃ 정도에서 진행될… ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410017090 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017090 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.