국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 3D 메모리 나노패턴 및 국소성분분포 측정용 Raman-Ellipsometry 융합 측정장비 개발 · 예산사업명: 차세대지능형반도체기술개발(설계제조)(R&D) · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-04-01 ~ 2026-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: (주)오로스테크놀로지 · 연구책임자: 김상준 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 1,683,000,000원 · 총 연구비: 2,205,300,000원 ■ 한글키워드 · 라만 분광계, 분광 타원계, 광계측, 머신러닝, 라만-타원계 융합 ■ 영문키워드 · Raman spectroscopy, Spectroscopic Ellipsometer, Optical Metrology, Machine Learning, Raman-SE hybrid ■ 연구내용 [1차년도 개발내용] o 4-편광소자 마이크로 스팟 SE 광학계 개발 - 4개의 편광소자를 이용한 마이크로 스팟의 SE 광학계 설계 - 광학적 디자인 도구를 활용한 광부품 배치최적화 o 복수의 모터 회전 동기화 시스템 개발 - 4개의 편광소자를 동기화시켜 안정적으로 동기… ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410016504 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410016504 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.