국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 8.x세대 디스플레이용 250℃ 가열 가능한 고온 식각용 하부척 기술개발 · 예산사업명: 소재부품기술개발 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-07-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 교육 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 주식회사 그린리소스 · 연구책임자: 이종범 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 907,100,000원 · 총 연구비: 1,179,420,000원 ■ 한글키워드 · 디스플레이, 건식식각, 구리, 정전척, 샤워헤드 ■ 영문키워드 · Display, Dry etching, Copper, ESC, Showerhead ■ 연구내용 [1단계-3차년도(마지막 년차)] o 고온 공정용 6G 정전척 제작 및 최적화 - 6G 정전척 코팅층 제조 기술 최적화 (코팅층 두께 균일도 및 기공제어) - 온도 균일도 및 고온 안정성이 확보된 6G 정전척 제작 - 정전척 상부 코팅 표면 제어 공정기술 최적화 - 정전척 특성 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410015425 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410015425 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.