국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다.
■ 과제 개요
· 과제명: 8세대기판 중첩정밀도 0.5um 이하 패턴처리를 위한 고해상동 실시간 데이터 생성 및 전송 시스템 개발
· 예산사업명: 소재부품기술개발
· 기준년도: 2026년
· 총 연구기간: 2024-07-01 ~ 2028-12-31
· 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31
· 수집 분야: 경영
■ 수행 주체
· 과제수행기관: 에이투케이에이치에스 주식회사
· 연구책임자: 김선국
· 부처명: 산업통상부
■ 연구비 (당해년도)
· 정부투자연구비: 20,000,000원
· 총 연구비: 34,200,000원
■ 한글키워드
· 고용량 데이타, 노광기, 패턴 생성, 고해상도, 전송
■ 영문키워드
· massive data, exposure machine, Pattern generation, high resolution, transmission system
■ 연구내용
[1세부 : 에스디에이]o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 처리 기술 개발o 데이터해상도 0.25um,550mm scan용 스티칭처리기술개발o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 전송 기술 개발o 기존 기술 기반 AI 적용 특징 …
■ 원문 확인
· 과제고유번호: 2410017405
· NTIS 과제상세페이지:
https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017405
(NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다)
※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시)
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