국가R&D 과제 동향

8세대기판 중첩정밀도 0.5um 이하 패턴처리를 위한 고해상동 실시간 데이터 생성 및 전송 시스템 개발

관리자 · 2026-09-07 05:40 · 조회 8
국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 8세대기판 중첩정밀도 0.5um 이하 패턴처리를 위한 고해상동 실시간 데이터 생성 및 전송 시스템 개발 · 예산사업명: 소재부품기술개발 · 기준년도: 2026년 · 총 연구기간: 2024-07-01 ~ 2028-12-31 · 당해연도 연구기간: 2026-01-01 ~ 2026-12-31 · 수집 분야: 경영 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 에이투케이에이치에스 주식회사 · 연구책임자: 김선국 · 부처명: 산업통상부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 20,000,000원 · 총 연구비: 34,200,000원 ■ 한글키워드 · 고용량 데이타, 노광기, 패턴 생성, 고해상도, 전송 ■ 영문키워드 · massive data, exposure machine, Pattern generation, high resolution, transmission system ■ 연구내용 [1세부 : 에스디에이]o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 처리 기술 개발o 데이터해상도 0.25um,550mm scan용 스티칭처리기술개발o 데이터 해상도 0.25um, SCAN거리 550mm, 10GB/scan급 데이터 전송 기술 개발o 기존 기술 기반 AI 적용 특징 … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2410017405 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2410017405 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.

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