국가R&D로 수행 중인(또는 수행된) 연구과제 정보입니다. ■ 과제 개요 · 과제명: 프리 필렛 및 65℃급 고온처리 방식의 부착형 IPA, NH3 스크러버 개발 · 예산사업명: 중소기업기술혁신개발 · 기준년도: 2025년 · 총 연구기간: 2024-05-01 ~ 2026-04-30 · 당해연도 연구기간: 2025-01-01 ~ 2025-12-31 · 수집 분야: 경영 ■ 수행 주체 · 과제수행기관: 진솔(주) · 연구책임자: 이정환 · 부처명: 중소벤처기업부 ■ 연구비 (당해년도) · 정부투자연구비: 176,000,000원 · 총 연구비: 239,000,000원 ■ 한글키워드 · 미니 스크러버, 이소프로필알콜, 암모니아, 프리 필렛, 반도체 세정 ■ 영문키워드 · Mini Scrubber, IPA, NH3, Pre-fillet, semiconductor cleaning ■ 연구내용 ■ 프리필렛 및 00℃급 고온처리 방식의 부착형 IPA, NH3 스크러버 개발 - 수용성 유해 물질(IPA, NH3) 제거효율 향상을 위해 프리필렛 및 메인필렛 내 배기유로 적용과 온수 분사 및 배관로의 고온처리 방식의 미니 스크러버 설계 - 1차년도(2024년) 내 목표 Footprint … ■ 원문 확인 · 과제고유번호: 2420030977 · NTIS 과제상세페이지: https://www.ntis.go.kr/project/pjtInfo.do?pjtId=2420030977 (NTIS 로그인 후 조회할 수 있습니다) ※ 출처: 국가과학기술지식정보서비스(NTIS) — 공공저작물 제1유형(출처표시) 위에 없는 상세 정보는 NTIS 과제상세페이지에서 확인해 주세요.